氦气检漏仪不抽真空是哪里的故障。

氦气检漏仪无法抽真空可能由多种故障导致，以下是可能的原因：

1. 密封不严：氦检漏系统的密封性对于维持真空至关重要。如果系统存在密封不严的问题，如橡胶密封件老化、松动、磨损或连接处不紧等，都会导致氦气泄漏，从而影响真空抽取。

2. 泵油不足：氦检漏系统通常使用真空泵进行抽取。如果泵油不足，真空泵的性能会受到影响，导致无法抽取到所需的真空度。

3. 泵头密封损坏：真空泵的泵头密封损坏同样会导致真空抽不下去。需要检查泵头密封情况，若出现磨损或漏油现象，则需要更换泵头密封件。

4. 气体反吹：在氦检漏测试过程中，若系统内部出现高压气体或氦气反吹，也会导致真空度下降，无法达到所需的真空度。

5. 真空计故障：如果真空计出现故障，如冷规的阳极和阴极短路，也可能导致检漏仪无法正确显示真空度。

这种情况八成是真空泵出现问题，可以将真空泵进气口放个纸张看下有没有吸力，要是没有或者真空泵老化功能衰减，基本上是真空泵的问题，可以找专业的生产销售真空泵企业的技术人员联系下，百度 凯威科真空（深圳）有限公司及生产销售，维修国外知名品牌真空泵的专业企业，有维修莱宝 爱德华 德国贝克等等。联系覃生

检漏仪内部泄漏
　　(1)内部的密封结构
　　当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。L200+ 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
　　(2)定位方法
　　采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因L200+ 检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
　　(3)处理方法
　　不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时极易被忽视，此处若有漏可先进行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。
3、检漏仪使用中注意事项
　　检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点：
　　①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。
　　②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。
　　③检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。
　　④检漏仪在运行了2000 h 后应对前级泵进行维修和保养，运行7000 h 分子泵进行维护和保养。

查一下前级泵是不是有问题，该不该换油。另外看看阀门组是不是脏了。