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SEM⼀EDX在测表面元素的时候测得多深？
SEM⼀EDX在测表面元素的时候测得多深？
请问下，SEM/EDX在测表面元素的时候，测得多深。有文献不？
2025-03-26 10:11:05
推荐回答（2个）
回答1：
EDX是测得元素的特征X射线进行分析，微米级别。XPS是纳米级别。
回答2：
至少要有几个纳米厚度
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