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如何降低pecvd镀膜边缘色差
如何降低pecvd镀膜边缘色差
2024-11-29 16:45:37
推荐回答（1个）
回答1：
前者是在管子里，片子在石墨舟里作为电极镀膜，可以叫做直接式，后者则在石墨框上，不作为电极，可以叫做间接式。前者采用射频电源，后者则采用微波辉光。另外还有很多不同之处。
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