应该不行吧,浓硫酸把铝表面钝化后,而铝膜是三价铝,双氧水又不能氧化铝膜,没有什么用。要腐蚀铝,应该考虑增强酸性酸,而不是增强氧化性。
实际操作中用浓硫酸加双氧水会腐蚀铝薄膜,对溶液加热会腐蚀的更快。在想处理掉半导体工艺中沉积的铝薄膜时是可以用这种方法腐蚀的,自己的实验经验不知道跟理论上出入在哪,可能沉积的铝薄膜比较薄,不够致密。