本质上讲，就是原理不同，适用的材料不同。电容式传感器适用于导电材料，只要有很薄的一层材料导电就可以了。代表的例子像米铱的capaNCDT探头。电涡流传感器适用于金属材料，原因是金属材料才可能产生涡流，代表的例子是米铱的eddyNCDT探头。
电感式传感器通过电磁感应原理测量被测物，当输入物理量改变时，会转换成自感系数或互感系数的变化，再转换为电压或电流的变化，从而实现对被测物的测量，电涡流属于互感式。
电容传感器主要是通过将输入量的变化转换为电容量的变化，再转换为电流或电压量的变化从而检测被测物的。
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