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PECVD镀膜过程出现比率比较大的返工片及色差片时的原因以及解决的方法（涉及石墨舟的又有哪些）
PECVD镀膜过程出现比率比较大的返工片及色差片时的原因以及解决的方法（涉及石墨舟的又有哪些）
（涉及石墨舟的又有哪些）
2024-11-29 16:29:28
推荐回答（2个）
回答1：
色差与舟的关系太大了。
看什么情况
回答2：
挂钩维护不到位，碎片掉落工艺腔，气流不顺...很多啦，得看具体情况
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