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用磁控溅射法法制备二氧化硅薄膜，二氧化硅薄膜的硬度与通氧量有什么关系？
用磁控溅射法法制备二氧化硅薄膜，二氧化硅薄膜的硬度与通氧量有什么关系？
2025-04-14 00:09:59
推荐回答（2个）
回答1：
在辉光放电的气压范围内，通氧量越大，SiO2薄膜越接近化学计量比，薄膜硬度越高。再者，可以通过提高基片温度增加薄膜硬度。
回答2：
SiO2氧含量高，硬度高。但是通入的氧气过多，就会打弧放电，反而镀不好了。
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