PECVD镀膜机一般抽到多少真空度

2024-11-29 08:49:55
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回答1:

一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍,一共洗两遍,然后再用氢气洗,之后就是成膜工艺气体配比充。

回答2:

1.0*10-3Pa