按等离子体激发电源区分，有射频电源（RF-PECVD）、甚高频电源（VHF-PECVD）、电子回旋共振（ECR-PECVD）、线性微波（LM-PECVD）等。按电源偶合结构区分，有电容偶合（传统PECVD）、电感偶合（ICP-PECVD）、表面波偶合（ECR-PECVD）、同轴天线偶合（LM-PECVD）等。按样品安放结构区分，有管式PECVD和平板式PECVD等。
