集中式洁净空调系统:在系统内单个或多个洁净室所需的净化空调设备都集中在机房内,用送风管道将洁净空气配给各个洁净室。分散式洁净空调系统:在系统内各个洁净室单独设置净化设备或净化空调设备。半集中式洁净空调系统:在这种系统中,既有集中的净化空调机房,又有分散在各洁净室内的空气处理设备。是一种集中处理和局部处理相结合的形式。
