透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。透射电子显微镜是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上(片状< 100 nm,颗粒< 2 um),电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。图片的明暗不同(黑白灰)与样品的原子序数、电子密度、厚度等相关。成像方式与光学显微镜相似,只是以电子代替光子,电磁透镜代替玻璃透镜,放大后的电子像在荧光屏上显示出来。
透射电子显微镜按加速电压分类,通常可分为常规电镜(100kV)、高压电镜(300kV)和超高压电镜(500kV以上)。提高加速电压,可提高入射电子的能量,一方面有利于提高电镜的分辨率;同时又可以提高对试样的穿透能力。
透射电镜是用高能电子束(加速电压一般在200KV以上)照射样品,透过样品的电子由于样品厚度、元素、缺陷、晶体结构等的不同,会产生不同的花样或图像衬度,由此可以推测样品ç