低真空 101325~1333 Pa中真空 1333~1.33×10（-1） Pa高真空 1.33×10（-1）~10（-6） Pa超高真空 10（-6）~10（-10） Pa极高真空 ＜10（-10） Pa（）里面内容为上标，即10的负多少次方。
