臭氧是一种强氧化剂，灭菌过程属生物化学氧化反应。其原理如下：
1、臭氧能氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡。
2、直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。
3、透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。
扩展资料：
臭氧消毒的注意事项：
1、臭氧对人体呼吸道粘膜有刺激，空气中臭氧浓度达0.15ppm时，即可嗅出；按照国际标准，达0.5-1ppm时可引起口干等不适；达1-4ppm时可引起咳嗽；达4-10ppm时可引起强烈咳嗽。故消毒用臭氧消毒空气，必须是在人不在的条件下，消毒后至少过30分钟才能进入。
2、臭氧为强氧化剂，对多种物品有损坏，浓度越高对物品损坏越重，可使铜片出现绿色锈斑、橡胶老化，变色，弹性减低，以致变脆、断裂，使织物漂白褪色等。
参考资料来源：百度百科-臭氧消毒
臭氧的灭菌类属于生物化学氧化反应。臭氧氧化分解了细菌内部氧化葡萄糖所必须的酶；也可以直接与细菌、病毒发生作用，破坏其细胞壁和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遭到破坏；还可以渗透胞膜组织，侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞的溶解死亡，并且将死亡菌体内的遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、支原体及热原（细菌病毒代谢产物、内毒素）等溶解变性灭亡。纵观无菌技术对微生物作用的原理可分为抑菌、杀菌和溶菌三种，应用臭氧作灭菌剂是属于溶菌。在卫生部1991年颁布的《消毒技术规范》中，对臭氧的灭菌原理也有一段介绍：
“科学研究表明，臭氧具有极强的杀菌作用。”“臭氧在常温、常压下分子结构不稳定，很快自行分解成氧气（O2）和单个氧原子（O），后者具有很强的活性，对细菌有极强的氧化作用。臭氧氧化分解了细菌内部氧化葡萄糖所必须的酶，从而破坏细胞膜，将它杀死，多余的氧原子则会自行重新结合成为普通氧分子（O2），不存在任何有毒残留物，故称‘无污染消毒剂’。它不但对各种细菌（包括肝炎病毒，大肠杆菌，绿浓杆菌及杂菌等）有极强的杀灭能力，且对杀死霉菌也很有效。而广州铨聚臭氧生产的臭氧发生器就可以达到这种效果，推荐。”
臭氧消毒原理可以认为是一种氧化反应。 （1）臭氧对细菌灭活的机理： 臭氧对细菌的灭活反应总是进行的很迅速。与其它杀菌剂不同的是：臭氧能与细菌细胞壁脂类双键反应, 穿入菌体内部，作用于蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细菌死亡。臭氧还作用于细胞内的核物质，如核酸中的嘌呤和嘧啶破坏DNA。 （2）臭氧对病毒的灭活机理： 臭氧对病毒的作用首先是病毒的衣体壳蛋白的四条多肽链，并使RNA受到损伤，特别是形成它的蛋白质。噬菌体被臭氧氧化后，电镜观察可见其表皮被破碎成许多碎片，从中释放出许多核糖核酸，干扰其吸附到寄存体上。 臭氧杀菌的彻底性是不容怀疑的。
简单点说， 臭氧以氧原子的氧化作用破坏微生物膜的结构，以实现杀菌作用。
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